一、產品簡介

仕(shi)富梅(mei)全新的SERVOPRO NanoChrome 超(chao)(chao)(chao)痕量(liang)氣體(ti)(ti)分析儀，通(tong)過引進最先進的氣體(ti)(ti)傳感(gan)技術和信號處理方法, 徹底改變了半(ban)導(dao)體(ti)(ti)行業中的超(chao)(chao)(chao)高純氣體(ti)(ti)分析，專為半(ban)導(dao)體(ti)(ti)生產中處于超(chao)(chao)(chao)痕量(liang)水平的雜質氣體(ti)(ti)和烴類測(ce)(ce)量(liang)而(er)(er)設計。卓越的NanoChrome采(cai)用由(you)仕(shi)富梅(mei)特別開發的一(yi)種創新高靈(ling)敏度的等離(li)子體(ti)(ti)發射探(tan)測(ce)(ce)器(qi)(PED)從而(er)(er)能夠提(ti)供超(chao)(chao)(chao)低檢測(ce)(ce)限度。已通(tong)過氬氣和氮氣的超(chao)(chao)(chao)痕量(liang)測(ce)(ce)量(liang)測(ce)(ce)試，擴展的測(ce)(ce)量(liang)波長使測(ce)(ce)量(liang)H2, CH4, CO 以及CO2以及直鏈烴的測(ce)(ce)量(liang)無需(xu)甲烷(wan)轉化(hua)器(qi)。由(you)于無需(xu)可燃氣體(ti)(ti)，仕(shi)富梅(mei)PED傳感(gan)器(qi)增(zeng)加了安全性，同時降(jiang)低了運營成本。

二(er)、產品特點

u BETTER THAN THE GETTER 的多(duo)組分超微量級氣(qi)體分析儀(yi)

u 適用于 Ar/N2/H2/CH4/CO/CO2/NMHC 的 PED 傳感器無需(xu)維護

u 無需燃料氣，從而提高(gao)了安(an)全性

u 智能(neng)平臺，獨(du)立軟件(jian)的單機系統

u 基于(yu)互聯網(wang)的遠程操控

u 內置(zhi)校準系統

u 與仕富梅公司的 Delta F 系列超高純氣體(ti)分析儀一道(dao)為(wei)客戶提供全面解決(jue)方(fang)案

三、產品規格(ge)

LDL：檢測限低達 300ppt（根據具體(ti)情況加以(yi)應用）

量程：0-250ppb（用戶可以配置）

重量(liang)：11-27Kg (25-60lbs)（根據(ju)具(ju)體情況加以應用）

校準(zhun)：250ppb 標氣或在(zai)選裝(zhuang)內(nei)部(bu)稀(xi)釋系統(tong)條件下使用5ppm標氣

功率消耗(hao)：400W-1200W

運(yun)載(zai)氣體(ti)：凈化的氦氣或(huo)氬氣

可重復性：檢測限讀數(shu)誤差為 ±2%，以較高者為準

樣氣流量(liang)：50-350ml/min（根據具體情(qing)況加(jia)以應用）

樣氣(qi)壓力：30psig（根據具體(ti)情況加(jia)以應(ying)用）

載氣流(liu)量：通(tong)常為(wei) 90-500ml/min（根據具體情況(kuang)加以應(ying)用）

載動壓力：建(jian)議(yi)為 100psig

檢測器(qi)類型(xing)：增(zeng)強型(xing)等離(li)子(zi)發射檢測器(qi)

燃料和空氣：任何(he)情況(kuang)下都不(bu)需要

流(liu)量(liang)穩系統：全(quan)部(bu)流(liu)量(liang)采用(yong)PID系統進(jin)行電子控制

尺寸 (WxDxH)：底盤或從機(ji)箱，標準機(ji)架安裝式4U附件482 x 600 x 177mm (19 x 24 x 7")

四、圖片展示