一、產品簡介

 DF-760E超微量水分(fen)分(fen)析(xi)儀是一款(kuan)結合(he)庫倫電量法和可調諧激光二極(ji)管傳(chuan)感(gan)器的分(fen)析(xi)儀，適合(he)在(zai)超高純電子級(ji)氣體中(zhong)檢測微量級(ji)雜質水含量以(yi)實(shi)現質量控(kong)制。

二、產品特點

水分測量采用高度穩定的可調諧激光二極管傳(chuan)感器

氧氣(qi)測(ce)量采用非消耗型傳感器，保修期長達5年

低維護

一臺儀(yi)器適用于(yu)多種(zhong)背(bei)景氣體(ti)測量

三、典型應用

  集成電路板工廠的大宗氣體(ti)質量(liang)控制

  密(mi)閉性檢測

四、技術規格

  氣體檢(jian)測類型(xing)： O2

  技(ji)術(shu)庫倫電(dian)量法(fa)非消耗(hao)型(xing)電(dian)化學傳感器(qi)可(ke)調諧(xie)激光(guang)二極(ji)管(guan)

五、產品性能

  最大工作量程：0-20ppm 0-20ppm

  最小推薦輸出范圍：0-1ppb 0-2ppb

  基本誤差（精(jing)度(du)）：+/- 3%讀(du)數或(huo)+/- 0.1ppb（以(yi)最(zui)大者為(wei)準） +/- 3%讀(du)數或(huo)+/- 0.2ppb（以(yi)最(zui)大者為(wei)準）

  響應時間(T90):小(xiao)于15秒在1升/分下小(xiao)于3分鐘

  零點漂移/月：可(ke)忽略可(ke)忽略

  量程(cheng)漂移/月：可(ke)忽略可(ke)忽略

  最低檢(jian)測(ce)限（LDL）：75ppt 200ppt

  失(shi)常恢(hui)復(fu)時間：恢(hui)復(fu)到以(yi)前(qian)穩定讀(du)數(shu)±10ppb內不超過5分(fen)鐘(zhong)恢(hui)復(fu)到以(yi)前(qian)穩定讀(du)數(shu)±10ppb內不超過5分(fen)鐘(zhong)

六、標配功能 

u 輸    出：水分(fen)和氧(yang)氣測量均采用隔離(li)4-20mA dc并可選0-1、0-2、0-5或0-10V dc（可在(zai)標定期間設置凍(dong)結模(mo)擬輸出）。

u 輸出范(fan)圍(wei)： 可比例調整至0-2ppb或0-20ppm之(zhi)間的(de)任意范(fan)圍(wei)。

u 聲光報警(jing)： 4個氧(yang)(yang)氣含(han)量、4個水分(fen)含(han)量、溫度、電解液狀態、水分(fen)傳感器診斷、低流量、零點驗(yan)證(zheng)或標定(ding)進(jin)行中、水分(fen)分(fen)析儀掉線、標定(ding)期間氧(yang)(yang)氣模擬輸出凍(dong)結控制。

u 雙比(bi)例范圍：兩個自定義次要模(mo)擬輸(shu)出范圍，在(zai)超出主(zhu)要范圍后可(ke)重(zhong)新比(bi)例調整輸(shu)出。

u 繼電器觸(chu)(chu)點(dian)(dian)：4個(ge)非閉(bi)鎖觸(chu)(chu)點(dian)(dian)，可獨立(li)分(fen)(fen)配給(gei)氧氣報警或氧氣標定進行中指示器，以及4個(ge)非閉(bi)鎖觸(chu)(chu)點(dian)(dian)，可獨立(li)分(fen)(fen)配給(gei)水分(fen)(fen)報警。SPDT觸(chu)(chu)點(dian)(dian)額定值為30V dc，5A。

u 串行通(tong)信(xin)：出廠配置RS 232或(huo)RS 485雙向串行通(tong)信(xin)

u 氣(qi)(qi)體輸送系統：采用氣(qi)(qi)動無彈(dan)簧隔膜(mo)閥(fa)、零死體積對焊組件(jian)實現(xian)傳感器隔離和(he)零 點驗證(zheng)；大容量凈化器濾除任何(he)水(shui)分和(he)氧氣(qi)(qi)，

u 確保高(gao)精(jing)度零點（不適(shi)用于氧氣樣(yang)本）；伴(ban)熱溫控(kong)型送(song)樣(yang)系統；低(di)接(jie)(jie)觸(chu)面積的(de)集成壓力調節器；帶流量控(kong)制(zhi)的(de)旁通(tong)回(hui)路(lu)；?” VCR進口(kou)接(jie)(jie)頭(tou)(tou)、?” 卡套旁通(tong)出(chu)口(kou)接(jie)(jie)頭(tou)(tou)、至真空源的(de)?”卡套出(chu)口(kou)接(jie)(jie)頭(tou)(tou)、?”氣動氣體卡套(tao)入口(kou)接頭(tou)。

u 氫氣安全系統(tong)吹(chui)掃：氫氣配套(tao)的可選安全系統(tong)包括：送(song)樣聯鎖、殼體吹(chui)掃閥和(he)可選外部真空(kong)泵(beng)的NEMA 4外殼和(he)Z型吹(chui)掃保(bao)護系統(tong)。

u 真空泵的(de)NEMA 4外殼(ke)和Z型吹掃保護系(xi)統為(wei)選配（注：氫氣安(an)全(quan)系(xi)統將繼電器數目由4個(ge)(ge)限定(ding)為(wei)3個(ge)(ge)）。

七、樣氣要求

溫度：10°C至80°C（50°F至176°F），建議(yi)將采(cai)樣線路(lu)加熱至60°C

露點：最(zui)低(di)環境溫度(du)以下5°C (9°F)

條件：無油(you)、非腐蝕性(xing)、非凝(ning)氣(qi)

塵埃：小于2μm微粒

排空(kong)：大(da)氣(qi)壓。

樣(yang)氣流(liu)量：2至5 l/min（僅適用于氮(dan)氣）—其(qi)他背景氣體請(qing)聯系仕(shi)富(fu)梅

旁(pang)通流量：0.25至2.5l/min

樣氣壓(ya)力：30至150psig（3.08至11.3 BarA）

八、圖片展示